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稀土复合氧化物固溶体陶瓷温场

真空环境1800摄氏度以上陶瓷温场材料氧一次性释放并持续在室温保持。(延缓和保护温场内其他金属器件的使用寿命)

可定制:

尺寸可根据要求定制。

所属分类:


产品详情

使用条件:

  1.在真空、保护气氛、空气环境使用温度达到2650摄氏度。

  2.真空环境1800摄氏度以上陶瓷温场材料氧一次性释放并持续在室温保持。(延缓和保护温场内其他金属器件的使用寿命)

产品优势:

  1.反复升降温周期使用寿命达到3年。(较金属温场提升6倍寿命)

  2. 以120公斤级晶体使用陶瓷温场为例,较金属温场缩短生长周期25%,节省电能耗40%以上。

  3. 突破大尺寸晶体生长温场瓶颈,实现晶体大尺寸量产化。

  4. 对使用3年后的陶瓷温场进行回收。

 

 

技术指标 重质层 蓄热层
ZrO2HfO2(%) ≥ 80 ≥ 80
A12O3(%) ≤ 0.1 ≤ 0.2
SiO2(%) ≤ 0.16 ≤ 0.15
MgO(%) ≤ 19.46 ≤ 19.4
Fe2O3(%) ≤ 0.11 ≤ 0.1
TiO2(%) ≤ 0.12 ≤ 0.12
体密 (g/cm ³) ≥ 4.8 ≥ 3.8
气孔率 (%) ≤ 16 ≤ 20

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