稀土复合氧化物固溶体陶瓷温场
真空环境1800摄氏度以上陶瓷温场材料氧一次性释放并持续在室温保持。(延缓和保护温场内其他金属器件的使用寿命)
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产品详情
使用条件:
1.在真空、保护气氛、空气环境使用温度达到2650摄氏度。
2.真空环境1800摄氏度以上陶瓷温场材料氧一次性释放并持续在室温保持。(延缓和保护温场内其他金属器件的使用寿命)
产品优势:
1.反复升降温周期使用寿命达到3年。(较金属温场提升6倍寿命)
2. 以120公斤级晶体使用陶瓷温场为例,较金属温场缩短生长周期25%,节省电能耗40%以上。
3. 突破大尺寸晶体生长温场瓶颈,实现晶体大尺寸量产化。
4. 对使用3年后的陶瓷温场进行回收。
技术指标 | 重质层 | 蓄热层 |
ZrO2HfO2(%) | ≥ 80 | ≥ 80 |
A12O3(%) | ≤ 0.1 | ≤ 0.2 |
SiO2(%) | ≤ 0.16 | ≤ 0.15 |
MgO(%) | ≤ 19.46 | ≤ 19.4 |
Fe2O3(%) | ≤ 0.11 | ≤ 0.1 |
TiO2(%) | ≤ 0.12 | ≤ 0.12 |
体密 (g/cm ³) | ≥ 4.8 | ≥ 3.8 |
气孔率 (%) | ≤ 16 | ≤ 20 |
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